电子束蒸镀专用HD谐波减速机CSD-25-160-2UH

电子束蒸镀专用HD谐波减速机CSD-25-160-2UH电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子枪有直射式、环型和e型枪之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，可达l09w/cm2，加热温度可达3000~6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜;另外，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率高。但结构较复杂，且对较多的化合物，由于电子的轰击有可能分解，故不适合多数化合物的蒸镀。

电子束蒸镀常用来制备Al、C0、Ni、Fe的合金或氧化物膜，Si02、Zr02膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。[1]

电子束蒸镀专用HD谐波减速机CSD-25-160-2UH电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀的优势在于:可以为待蒸发的物质提供更高的热量，因此蒸镀的速率也更快;电子束定位准确，可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷，对能量的利用率不高;而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离，也有可能带来污染。此外，大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解，这影响了薄膜的成分和结构。