在线参数测试的4个主要子系统为：（1）探针卡接口:是自动测试仪与待测器件之间的接口。日本HD精密定位谐波CSF-32-50-2A-GR（2）硅片定位:为测试硅片，首先要确与探针接触的硅片的探针仪位置。（3）测试仪器:集成电路需要能够在测试结构上快速、准确、重复地测量亚微安级电流和微法级电容的自动测试设备，它控制测试过程（4）作为网络主机或客户机的计算机:日本HD精密定位谐波CSF-32-50-2A-GR导测试系统操作的计算机包括测试软件算法、自动测试设备、用于硅片定位的探查控制软件、测试数据的保存和控制、系统校准和故障诊断。
硅片拣选测试中的三种典型电学测试：（1）DC测试:电学测试是确保探针和压焊点之日本HD精密定位谐波CSF-32-50-2A-GR间良好电学接触的连接性检查。这项检查保证了技术员的测试仪安装正常。
