新松机器人半导体装备业务主要包括洁净机器人系列产品、EFEM等，是国内首家洁净机器人供应商，并已占据国内EFEM产品主导市场地位。
新松机器人的半导体装备主要替代进口产品，其国外主要竞争对手如下。
A、布鲁克斯
布鲁克斯（Brooks Automation）总部位于美国，是自动化、真空设备与仪器仪表解决方案的全球领导厂商，业务覆盖北美，欧洲及亚洲，其产品应用于半导体制造、生物科技、工艺设备制造以及绿色能源等多种产业。
B、电产三协
电产三协（Nidec Sankyo）总部位于日本，主要产品为马达、马达驱动组件等。工业机器人为其业务的一部分，其细分产品包括液晶玻璃基板搬运机器人、半导体芯片搬运机器人、真空环境对应机器人以及机器人控制器等。
