微细加工技术的不断成熟和应用领域的不断扩大， 必将带动一系列交叉学科及其有关技术的发展， 例如微电子机械系统、微光电系统、DNA芯片、二元光学、化学分析芯片以及作为电子科学和生物科学结合的产物———生物芯片的研究开发等， 它们都将取得明显进展。
5.1.4未来应用
应用是集成电路产业链中不可或缺的重要环节，是集成电路最终进入消费者手中的必经之途。除众所周知的计算机、通信、网络、消费类产品的应用外，集成电路正在不断开拓新的应用领域。诸如微机电系统,微光机电系统、生物芯片(如DNA芯片)、超导等，这些创新的应用领域正在形成新的产业增长点。
5.2集成电路发展新技术
按目前情况预测， 15年后， 半导体上一个实体的栅长将只有9 nm， 这就需要更微细且精确的技术突破， 这首先会集中在生产材料的物理性质以及工艺设计等能力上。而能否顺利突破这些障碍， 晶圆制造工艺能否达到更进一步的微细化与精细化则是其关键， 同时也对半导体工艺技术与后续的研发方向有着深远的影响。概括起来， 其关键技术如下：
