RSF/RKF系列是将精密控制用减速机Harmonic Drive®和AC伺服电动机组合而成的小型、高转矩、高旋转精度的AC伺服传动装置。
通过与充分发挥AC伺服传动装置性能的专用AC伺服驱动器组合,实现了高旋转精度,小型化的机械装置。
· 小型、轻量
· 大功率
· 高定位精度和高旋转精度
用途]
· 半导体制造设备
· 液晶制造设备
· 电子部件组装装置
检查计测装置等
采用扁平形状、中空孔构造,FHA-C实现了机械、装置小型化、构造简单化。 |
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· 薄型、小巧 · 中空结构 · 高转矩、高刚性、高精度 · 内置刚性性能优异的支撑装置 · 具有多种控制功能的控制单元也已系列化
· 机床 : 转塔刀分度、分度盘、装载机 · 机器人 : 旋转、关节驱动部 · 半导体制造设备 : 搬运机器人、检查平台 · 液晶制造设备 : 搬运机器人、检查平台、感光剂涂抹辊驱动 · 印刷机 : 感光剂涂抹辊驱动 |