哈默纳科芯片半导体谐波LA-30B-10-F-L
半导体芯片的制造可以分为制造准备、制造过程两个阶段。哈默纳科芯片半导体谐波LA-30B-10-F-L制造准备阶段需要做的工作包括集成电路设计、掩模板设计制造、硅片的制备、制造环境的创建。芯片制造过程包括的主要工艺有薄膜生成工艺(氧化、淀积)、图形转移工艺(光刻、刻蚀)、掺杂工艺(扩散、离子注入)以及其他辅助工艺(热处理哈默纳科芯片半导体谐波LA-30B-10-F-L、清洗、CMP)等。芯片制造工艺设备按照工艺过程组成相应的生产线。
1. 半导体芯片制造工艺
以64GbCOMS器件制造为例,整个工艺过程大约需要180个主要步骤、52个清洗/剥离步骤以及多达28块掩模板。这些工艺步骤基本上都属于上述四种基本工艺。如果集成电路的特征值进一步减少时,哈默纳科芯片半导体谐波LA-30B-10-F-L需要的工艺步骤数将会增加到500或更多。